半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備，如膜厚測(cè)量，OCD 測(cè)量，形貌測(cè)量，缺陷檢測(cè)等
吸盤采用輕量化設(shè)計(jì)，并采用和硅材料熱膨脹系數(shù)相近材料：無壓燒結(jié)碳化硅，滲硅碳化硅，氮化硅和氮化鋁等。吸盤具備高剛度，高導(dǎo)熱，低熱膨脹，穩(wěn)定性高等特點(diǎn)，另外，還具備高純度，晶粒大小均勻等特性，如此可有效的減少Particle以及化學(xué)清洗的污染問題，延長使用壽命。
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單位 |
數(shù)據(jù) |
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平面度 |
μm |
0.5 |
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適用規(guī)格 |
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6/8' 12' 8/12' |
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表面特征 |
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銷式，環(huán)式 |
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Pin高度 |
mm |
0.05-0.2 |
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Pin直徑(最小) |
mm |
φ0.2 |
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Pin間距(最小) |
mm |
3 |
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密環(huán)寬度(最小) |
mm |
0.7 |
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表面粗糙度 |
μm |
Ra 0.02 |
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厚度公差 |
mm |
±0.01 |
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直徑公差 |
mm |
±0.01 |
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平行度公差 |
μm |
≤3 |
