高真空精密二維位移臺(tái)采用了符合超高真空標(biāo)準(zhǔn)的材料和IS06潔凈室中的特殊工藝制造，確?？蛇m用于10-5Pa及以下超高真空環(huán)境。在實(shí)現(xiàn)高精度、高剛度XY運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，還保證了真空環(huán)境下的熱管理與磁屏蔽需求。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來(lái)源于VLS200
|
技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
VLS200-08 |
VLS200-12 |
||
|
軸 |
|
X |
Y |
X |
Y |
|
行程 |
mm |
300 |
220 |
400 |
320 |
|
最大速度 |
m/s |
0.35 |
0.35 |
0.35 |
0.35 |
|
加速度 |
g |
0.4 |
0.4 |
0.4 |
0.4 |
|
精度 |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
|
雙向重復(fù)精度 |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
位置穩(wěn)定性（3σ） |
nm |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
|
速度波動(dòng) |
|
<0.1% |
<0.1% |
<0.1% |
<0.1% |
|
直線度 |
μm |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
|
俯仰 |
arcsec |
<20 |
<20 |
<20 |
<20 |
|
偏擺 |
arcsec |
<20 |
<20 |
<10 |
<10 |
|
機(jī)械特征 |
|
|
|
|
|
|
驅(qū)動(dòng)負(fù)載（無(wú)負(fù)載） |
Kg |
52 |
7 |
53.5 |
9 |
|
最大負(fù)載 |
Kg |
13.5 |
13.5 |
13.5 |
13.5 |
|
平臺(tái)質(zhì)量 |
Kg |
100 |
100 |
145 |
145 |
|
外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
670×630×200 |
810×714×200 |
||
|
平臺(tái)材料 |
|
鋁合金 |
|
||
*非主動(dòng)減振環(huán)境下的測(cè)試數(shù)據(jù)。
在真空產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)。可選內(nèi)容包括行程、編碼器、控制系統(tǒng)等選項(xiàng)。
|
表 1 導(dǎo)軌選項(xiàng) |
|
|
-G1 |
常規(guī)真空導(dǎo)軌 |
|
-G2 |
無(wú)磁真空導(dǎo)軌 |
