1.變形鏡簡介

復雜時變的大氣環(huán)境易對精密光機系統(tǒng)探測光、發(fā)射激光的空間傳輸產(chǎn)生高頻的隨機擾動，導致傳感圖像清晰度下降及激光聚焦形狀潰散，極大地降低了作用效果。利用波前校正器可對空間光束的波前畸變進行自適應動態(tài)補償，從而顯著提高圖像探測精度和激光傳輸性能。

典型的波前校正器包括液晶空間相位調(diào)制器、機械式變形鏡和壓電變形鏡 （壓電陶瓷驅(qū)動的可變形反射鏡）等。其中，壓電變形鏡的工作響應頻率最高，可達數(shù)千赫茲，且能夠承載高功率密度激光，其具有廣闊的應用前景。

變形鏡(Deformable Mirror,DM)是自適應光學系統(tǒng)中實現(xiàn)波前校正的關鍵器件,其性能直接決定了系統(tǒng)的波前畸變校正能力。

目前,它們被廣泛應用于天文觀測、生物顯微鏡中的像差自適應校正和激光加工中的光束整形等領域。隨著 DM應用的增加,對光學系統(tǒng)以及 DM 本身動態(tài)和靜態(tài)控制的精度和速度要求不斷提高。為了提高 DM的校正精度,不僅需要改變其自身特性,還需使用控制算法對 DM 進行控制。

同時，根據(jù)最新的市場趨勢分析，預計未來幾年全球變形鏡市場保持穩(wěn)健增長，市場規(guī)模有望在不久的將來達到一個可觀的水平。

2.壓電變形鏡分類

根據(jù)鋯鈦酸鉛 （PZT） 或鈦酸鋇等陶瓷作動器的結構形式和驅(qū)動方式，壓電變形鏡可以進一步分為壓電疊堆變形鏡、壓電片變形鏡和MEMS（micro‐electro mechanical systems，微機電系統(tǒng)）壓電微變形鏡等。

壓電片變形鏡以單層或雙層的薄片狀壓電陶瓷作動器作為驅(qū)動單元，具有極致輕量化、集成度高、制作工藝簡單和成本較低的優(yōu)點。壓電片變形鏡具有多層復合薄殼結構，其在較高頻率的控制電壓激勵下工作時易受到機械共振、位移-電壓相位遲滯等動力學效應的影響，難以獲得較高的形狀控制精度。

壓電疊堆變形鏡的制作工藝復雜且成本高昂。

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3.壓電變形鏡驅(qū)動系統(tǒng)

壓電陶瓷驅(qū)動連續(xù)鏡面壓電變形鏡（簡稱壓電變形鏡）時，每一個壓電陶瓷校正器都對應一路高壓放大器，因此，高壓放大器的結構尺寸、驅(qū)動能力、信號質(zhì)量、價格成本都需要在壓電變形鏡系統(tǒng)設計過程中被充分考慮。

根據(jù)工作原理，高壓放大器電路可以分為線性功率放大電路和開關式功率放大電路。

開關式功率放大電路具有功率損耗較小、發(fā)熱較小，容易做到大電流輸出等優(yōu)點。但是，這種電路需要依靠脈沖寬度調(diào)制（Pulse-width Modulation，PWM）進行功率輸出，調(diào)制信號需要通過濾波電路復原信號，輸出電壓紋波較大，頻響特性較差，同時造成電路體積增大。

相比開關式功率放大電路，線性功率放大電路由于其輸出功率級晶體管處于線性放大區(qū)間，因此輸出信號具有線性度好、穩(wěn)定性強、紋波小和頻響寬等優(yōu)點，一直以來都是高精度壓電陶瓷放大器的首選驅(qū)動方式。但是這類電路存在功耗較高、效率比較低的問題。

4.為什么選擇隱冠半導體

隱冠半導體壓電部門專注于精密定位執(zhí)行器及運動系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)制造、銷售；是國內(nèi)壓電領域極少數(shù)擁有從壓電陶瓷材料到壓電陶瓷電機再到納米精度壓電運動臺全產(chǎn)品鏈研發(fā)與批量生產(chǎn)能力的高科技企業(yè)，公司具有豐富的產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗。

隱冠可提供單片型壓電陶瓷和疊堆型壓電陶瓷和適配的驅(qū)控，達到亞毫秒響應時間，保證更快響應和更高精度的控制。隱冠自研自產(chǎn)的單片型和疊堆型壓電陶瓷可以在較低電壓下產(chǎn)生較大的驅(qū)動位移；搭配的自研自產(chǎn)的驅(qū)控采用功率放大電路將控制信號放大，以此驅(qū)動壓電陶瓷，減少所需的驅(qū)動電壓。

公司具有豐富的產(chǎn)品規(guī)格和種類以匹配不同的變形鏡結構設計。公司可提供整套壓電陶瓷控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)快速安裝、替換及維護。

針對客戶的個性化集成需求，公司可以定制封裝尺寸、電壓、行程、金屬端件等，以滿足機械剛度和穩(wěn)定性，以保證變形鏡系統(tǒng)的可靠性和長期運行效果。

同時公司針對客戶特定需求和具體應用場景，集成應變片實現(xiàn)閉環(huán)控制，并配置自研適配的驅(qū)控器，實現(xiàn)產(chǎn)品組合的技術和成本優(yōu)勢。