精密機(jī)械轉(zhuǎn)臺采用了扁平的設(shè)計(jì)思想，能實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)方向高精度、高剛度無限制運(yùn)動(dòng)。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于RD180
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技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
RD180-00 |
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精度_校準(zhǔn)前* |
arcsec |
±30 |
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精度_校準(zhǔn)后* |
arcsec |
±3 |
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雙向重復(fù)精度* |
arcsec |
±2 |
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軸向跳動(dòng) |
μm |
±3 |
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徑向跳動(dòng) |
μm |
±3.5 |
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傾斜誤差 |
arcsec |
10 |
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連續(xù)扭矩 |
N·m |
2.4 |
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最大轉(zhuǎn)速 |
rpm |
150 |
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位置穩(wěn)定性（3σ）* |
arcsec |
±0.072 |
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Move1: 1 deg within±40μdeg* |
ms |
100 |
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Move2: 180 deg within±40μdeg* |
ms |
500 |
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機(jī)械特征 |
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外觀尺寸 |
mm×mm |
284×284 |
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最大負(fù)載_軸向 |
Kg |
7 |
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最大負(fù)載_徑向 |
Kg |
3 |
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轉(zhuǎn)動(dòng)慣量 |
Kg•m² |
0.00038 |
*測試數(shù)據(jù)來源于采用20μm pitch光柵尺的測試，且運(yùn)動(dòng)臺處于主動(dòng)隔振環(huán)境下。
在RD180系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、Chuck 供氣路數(shù)、控制系統(tǒng)等選項(xiàng)。
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表1編碼器選項(xiàng) |
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-S1 |
標(biāo)準(zhǔn)款，Renishaw編碼器 |
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-S2 |
高端款，Heidenhain編碼器 |
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表2 Chuck供氣選項(xiàng) |
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-C1 |
Chuck單氣路供氣 |
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-C2 |
Chuck雙氣路供氣 |
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-C3 |
Chuck三氣路供氣 |
