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上海隱冠半導體技術有限公司

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行走式壓電微步電機
壓電微步電機
壓電微步電機
壓電微步電機
主要特點

  • 高驅動力
  • 納米精度
  • 高靜態(tài)保持力
  • 大行程范圍
  • 高分辨率

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主要應用
  • 鏡頭精密調節(jié)
  • 精密電子顯微鏡調節(jié)
  • 無磁環(huán)境
  • 真空無發(fā)熱環(huán)境
  • 精密半導體設備
  • 精密醫(yī)學檢測設備
性能簡介

微步式驅動原理實現(xiàn)納米級精度和高驅動力
  陶瓷微步電機是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器,通過多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進式的多組動作邏輯進行驅動,實現(xiàn)對電機動子的直線驅動。其主要特點是體積小、驅動力大;在靜態(tài)下可以保持高夾持力,且無熱功耗;可以將單步實現(xiàn)高細分,實現(xiàn)納米級高分辨率;步進式運動方式,可以實現(xiàn)毫米級大運動行程。
選配增量式光柵尺實現(xiàn)高精度定位
  非接觸式光柵尺可以直接檢測運動臺面的位移,最大程度避免了間接位移檢測帶來的位置誤差。
適合復雜真空環(huán)境應用
  陶瓷微步電機可選配真空版本。電機靜態(tài)下無熱功耗,不產生磁場。

機械尺寸圖

技術參數(shù)
<<<左滑查看更多參數(shù)

 

單位

公差

PMNL-C05-10N

PMNL-C10-10N

運動軸

 

 

X

X

運動和定位

運動行程

mm

 

10

10

模擬量模式下行程

μm

 

±2

±2

傳感器

 

 

-

-

開環(huán)分辨率

nm

典型值

1

1

閉環(huán)分辨率

nm

 

-

-

速度

mm/s

最大值

1

1

最大驅動頻率

Hz

±20%

250

250

機械特性

驅動力

N

最大值

50

100

保持力

N

最小值

70

130

驅動特性

       

工作電壓

V

 

-250~+250

-250~+250

其他

       

工作溫度范圍

°C

 

0~55

0~55

材料

 

 

鋁,不銹鋼,鈦

鋁,不銹鋼,鈦

質量

g

±5%

115

160

電纜長度

m

±0.05m

2

2

電機接口

 

 

Sub-D15 公頭

Sub-D15 公頭

 

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