微步式驅動原理實現(xiàn)納米級精度和高驅動力
陶瓷微步電機是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器,通過多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進式的多組動作邏輯進行驅動,實現(xiàn)對電機動子的直線驅動。其主要特點是體積小、驅動力大;在靜態(tài)下可以保持高夾持力,且無熱功耗;可以將單步實現(xiàn)高細分,實現(xiàn)納米級高分辨率;步進式運動方式,可以實現(xiàn)毫米級大運動行程。
選配增量式光柵尺實現(xiàn)高精度定位
非接觸式光柵尺可以直接檢測運動臺面的位移,最大程度避免了間接位移檢測帶來的位置誤差。
適合復雜真空環(huán)境應用
陶瓷微步電機可選配真空版本。電機靜態(tài)下無熱功耗,不產生磁場。
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單位 |
公差 |
PMNL-C05-10N |
PMNL-C10-10N |
運動軸 |
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X |
X |
運動和定位 |
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運動行程 |
mm |
|
10 |
10 |
模擬量模式下行程 |
μm |
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±2 |
±2 |
傳感器 |
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- |
- |
開環(huán)分辨率 |
nm |
典型值 |
1 |
1 |
閉環(huán)分辨率 |
nm |
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- |
- |
速度 |
mm/s |
最大值 |
1 |
1 |
最大驅動頻率 |
Hz |
±20% |
250 |
250 |
機械特性 |
||||
驅動力 |
N |
最大值 |
50 |
100 |
保持力 |
N |
最小值 |
70 |
130 |
驅動特性 |
||||
工作電壓 |
V |
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-250~+250 |
-250~+250 |
其他 |
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工作溫度范圍 |
°C |
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0~55 |
0~55 |
材料 |
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鋁,不銹鋼,鈦 |
鋁,不銹鋼,鈦 |
質量 |
g |
±5% |
115 |
160 |
電纜長度 |
m |
±0.05m |
2 |
2 |
電機接口 |
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Sub-D15 公頭 |
Sub-D15 公頭 |