平面式精密氣浮XY位移臺，具有超薄的輪廓尺寸，實(shí)現(xiàn)高精度、高剛度水平直線運(yùn)動。
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技術(shù)指標(biāo) |
AXY110 |
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運(yùn)動軸 |
X,Y |
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行程 |
160mm（上軸）；180mm（下軸） |
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最大速度（空載） |
上軸：0.7m/s 下軸：0.8m/s |
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加速度（空載） |
上軸：0.7g 下軸：2g |
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傳感器分辨率 |
5nm |
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雙向重復(fù)定位精度 |
±0.1µm（上軸）；±0.1µm（下軸） |
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精度（校準(zhǔn)后） |
±0.2µm（上軸）；±0.2µm（下軸） |
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直線度 |
±0.5µm（上軸）；±0.5m（下軸） |
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平面度 |
±0.5µm（上軸）；±0.5µm（下軸） |
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俯仰 |
25µrad（上軸）；25µrad（下軸） |
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偏擺 |
10µrad（上軸）；10µrad（下軸） |
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最大負(fù)載 |
4.5kg |
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峰值推力 |
85N |
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持續(xù)推力 |
39N |
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動子質(zhì)量 |
上軸:2.8kg 下軸:10kg |
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總質(zhì)量 |
28.5kg |
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外觀尺寸 |
559mmX459mmX109mm |
