微步式驅(qū)動原理實現(xiàn)納米級精度和高驅(qū)動力
陶瓷微步電機是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器,通過多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進式的多組動作邏輯進行驅(qū)動,實現(xiàn)對電機動子的直線驅(qū)動。其主要特點是體積小、驅(qū)動力大;在靜態(tài)下可以保持高夾持力,且無熱功耗；可以將單步實現(xiàn)高細分,實現(xiàn)納米級高分辨率:步進式運動方式,可以實現(xiàn)毫米級大運動行程。
選配增量式光柵尺實現(xiàn)高精度定位
非接觸式光柵尺可以直接檢測運動臺面的位移,最大程度避免了間接位移檢測帶來的位置誤差。
適合復雜真空環(huán)境應用
陶瓷微步電機可選配真空版本。電機靜態(tài)下無熱功耗，不產(chǎn)生磁場。
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單位 |
公差 |
PMNL-T23-ZT20A |
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運動軸 |
|
|
Z |
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運動和定位 |
|||
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Z軸運動行程 |
mm |
|
±10 |
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rX軸運動行程 |
deg |
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±1.1 |
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rY軸運動行程 |
deg |
|
±1 |
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傳感器 |
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|
線性光柵尺 |
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開環(huán)分辨率 |
nm |
|
1 |
|
傳感器分辨率 |
nm |
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5 |
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傳感器信號 |
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AqB |
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Z軸單向重復精度 |
nm |
典型值 |
±50 |
|
rX軸單向重復精度 |
典型值 |
±1.2 μrad (0.25 arcsec) |
|
|
rY軸單向重復精度 |
典型值 |
±1 μrad (0.21 arcsec) |
|
|
Z軸雙向重復精度 |
nm |
典型值 |
±100 |
|
rX軸雙向重復精度 |
典型值 |
±2.4 μrad (0.5 arcsec) |
|
|
rY軸雙向重復精度 |
典型值 |
±2 μrad (0.42 arcsec) |
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速度* |
mm/s |
最大值 |
1 |
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機械特性 |
|||
|
垂向驅(qū)動力 |
N |
典型值 |
200 |
|
垂向保持力 |
N |
最小值 |
300 |
|
驅(qū)動特性 |
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工作電壓 |
V |
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-250~250V |
|
其他 |
|||
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工作溫度范圍 |
°C |
|
0~50 |
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材料 |
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鋁合金，不銹鋼 |
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電纜長度 |
m |
±0.02m |
1.5 |
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電機接口 |
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D-Sub25 公頭 |
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傳感器接口 |
|
|
HD-Sub44 公頭 |
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外觀尺寸 |
|||
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長 |
mm |
|
240 |
|
寬 |
mm |
|
240 |
|
高 |
mm |
|
70~96 |
* 實際運動速度取決于驅(qū)控電路功率
微步式驅(qū)動原理實現(xiàn)納米級精度和高驅(qū)動力
陶瓷微步電機是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器,通過多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進式的多組動作邏輯進行驅(qū)動,實現(xiàn)對電機動子的直線驅(qū)動。其主要特點是體積小、驅(qū)動力大;在靜態(tài)下可以保持高夾持力,且無熱功耗；可以將單步實現(xiàn)高細分,實現(xiàn)納米級高分辨率:步進式運動方式,可以實現(xiàn)毫米級大運動行程。
選配增量式光柵尺實現(xiàn)高精度定位
非接觸式光柵尺可以直接檢測運動臺面的位移,最大程度避免了間接位移檢測帶來的位置誤差。
適合復雜真空環(huán)境應用
陶瓷微步電機可選配真空版本。電機靜態(tài)下無熱功耗，不產(chǎn)生磁場。
