半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對準(zhǔn)、生物醫(yī)藥
堆疊式二維精密位移臺采用集成式、正交性設(shè)計(jì)理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實(shí)現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運(yùn)動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于L2S125
|
技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
L2S125-300 |
L2S125-400 |
||
|
軸 |
|
X |
Y |
X |
Y |
|
行程 |
mm |
365 |
365 |
410 |
475 |
|
最大速度 |
m/s |
1 |
1 |
1 |
1 |
|
加速度 |
m/s² |
10 |
10 |
10 |
10 |
|
精度_校準(zhǔn)前 |
μm |
±20 |
±20 |
±20 |
±20 |
|
精度_校準(zhǔn)后 |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
|
雙向重復(fù)精度 |
μm |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
|
直線度 |
μm |
±3 |
±3.5 |
±3 |
±3.5 |
|
平面度 |
μm |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
|
俯仰 |
μm |
±5 |
±10 |
±5 |
±10 |
|
橫滾 |
μm |
±5 |
±10 |
±5 |
±10 |
|
偏擺 |
μm |
±10 |
±10 |
±10 |
±10 |
|
正交性 |
μm |
±15 |
±15 |
±15 |
±15 |
|
位置穩(wěn)定性（3σ）* |
nm |
±2 |
±2 |
±2 |
±2 |
|
Move1:10μm within±100nm* |
ms |
50 |
50 |
50 |
50 |
|
Move2:25mm within±100nm* |
ms |
140 |
140 |
140 |
140 |
|
Move3:80mm within±100nm* |
ms |
170 |
170 |
170 |
170 |
|
機(jī)械特征 |
|
|
|
|
|
|
驅(qū)動負(fù)載（無負(fù)載）_Upper axis |
Kg |
3.6 |
3.6 |
4.5 |
4.5 |
|
驅(qū)動負(fù)載（無負(fù)載）_Lower axis |
Kg |
17 |
17 |
18.5 |
18.5 |
|
最大負(fù)載 |
Kg |
2 |
2 |
6 |
6 |
|
平臺質(zhì)量 |
Kg |
29.5 |
29.5 |
32 |
32 |
|
外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
650×604×125 |
650×604×125 |
810×700×125 |
810×700×125 |
|
平臺材料 |
|
航空鋁，黑色陽極氧化 |
|
|
|
*測試數(shù)據(jù)來源于采用8μm pitch光柵尺的測試，且運(yùn)動臺處于主動隔振環(huán)境下。
在L2S125系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)?？蛇x內(nèi)容包括行程、編碼器、導(dǎo)軌等選項(xiàng)。 X軸底座可根據(jù)客戶需求，改為大理石底座，可提供更高的定位精度。
|
表1行程選項(xiàng) |
|
|
-300 |
365mmX365mm行程位移平臺，配置直線電機(jī)和限位 |
|
-400 |
410mmX475mm行程位移平臺，配置直線電機(jī)和限位 |
|
表2編碼器選項(xiàng) |
|
|
-S1 |
標(biāo)準(zhǔn)款，Renishaw編碼器 |
|
-S2 |
高端款，Heidenhain編碼器 |
|
表3導(dǎo)軌選項(xiàng) |
|
|
-Gl |
高剛性滾柱導(dǎo)軌 |
|
-G2 |
高精度滾珠導(dǎo)軌 |
