高剛度、高精度導軌設計
線纜擾動力一致性設計
垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)高定位精度
高剛性、高精度導向設計
垂向增量光柵，最高可實現(xiàn)5納米分辨率
超薄型、輕量化設計
最大可支持30mm垂向機械行程
晶圓生產(chǎn)控制應用，例如薄膜計量、關鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等
堆疊式三維直線位移臺采用模塊化、超薄設計、正交性設計等理念，將MZM200-10標準模組集成在十字平臺L2S125模組之上，能實現(xiàn)X、Y和Z軸3自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZM200-10標準模組采用了大行程磁浮重力補償技術，具有降低垂向電機的載荷，很大程度地提高了垂向運動性能和壽命的功能，可實現(xiàn)高精度上下方向定位的升降。十字平臺L2S125模組采用集成式、正交性設計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于L3S190，且垂向處于行程最高位。
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技術指標 |
單位 |
L3S190-350 |
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軸 |
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X |
Y |
Z |
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行程 |
mm |
350 |
350 |
9(可定制) |
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最大速度 |
m/s |
0.6 |
0.6 |
0.1 |
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加速度 |
m/s² |
5 |
5 |
2 |
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精度_校準前 |
μm |
±20 |
±20 |
- |
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精度_校準后 |
μm |
±2 |
±2 |
±0.5 |
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雙向重復精度 |
μm |
±1 |
±1 |
±1μm |
|
直線度 |
μm |
±10 |
±10 |
- |
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俯仰 |
arcsec |
±75 |
±50 |
±50 |
|
橫滾 |
|
- |
- |
±50 |
|
偏擺 |
|
±75 |
±75 |
- |
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正交性 |
μm |
5 |
5 |
- |
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機械特征 |
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驅(qū)動負載（無負載） |
Kg |
14.2 |
27.5 |
6.7 |
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最大負載 |
Kg |
5 |
5 |
5 |
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平臺質(zhì)量 |
Kg |
40 |
40 |
40 |
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外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
734×600×187（垂向處行程最高位） |
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在整個產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、高精度標定和控制系統(tǒng)等選項。
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表1編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學式線性編碼器 |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學式線性編碼器 |
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-S3 |
絕對式光學式線性編碼器 |
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表2導軌選項 |
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-Gl |
高剛度機械導軌 |
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-G2 |
高性能氣浮導軌 |
